| 业主名称 | 昊华气体有限公司 |
|---|---|
| 所在地区 | 河南 / 洛阳 |
| 项目阶段 | 手续审批 |
| 投资金额 | 13500万 |
项目简介:
昊华气体公司半导体用刻蚀气项目: 本项目拟在洛阳基地新建一套刻蚀气生产装置,采用具有自主开发的吸附、精馏等纯化技术对原材料进行提纯,总产能达1440吨/年,包含400吨/年溴化氢、30吨/年三氟化硼、50吨/年一氟甲烷、60吨/年二氟甲烷、200吨/年三氟甲烷、100吨/年六氟乙烷、400吨/年八氟环丁烷、200吨/年六氟丁二烯等八个产品: 1、工艺流程:原料准备-中和反应-结晶-分离和干燥。
项目进展:
该项目正在办理可研批复;设计尚未开始;施工尚未开始;设备情况尚未了解。
项目联系人:
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